제품소개

제품소개제품소개

인산 공정 안정화 장비 (NIETOP)

2014-08-25

이미지입니다.

  • 반도체 질화막(SiN) 제거 공정 안정화 장비

  • 높은 Etching Rate와 높은 선택비 동시 실현
    Etching Rate :  60
    Å/min
    선택비 :   40 : 1 이상

  • 뛰어난 Etching Uniformity 실현
    :
    안정적인 Bath Boiling Condition 조절로 뛰어난
     
     Uniformity 실현

  • Maintenance 최소화
    : Bath
    파손 등을 최소화하여 장비 Down 시간을 최소화