제품소개

제품소개제품소개

탄산수 공급장치 (DI CO2)

2020-01-09

이미지입니다.

CO2 가스를 초순수에 용해 시켜 탄산수를 제조 공급

 

반도체 세정 공정 중에 발생하는 정전기 제거

 

일정 유량 조건에서 안정된 비저항 값 유지 :

 

     ±10% of Full Scale

 

유량계 내장으로 유량값 확인 가능

 

잉여 CO2 가스를 발생 시키지 않아 CO2 가스 소모량 절감

 

소모품이 거의 없어 저렴한 유지 관리비