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    OC Series

    OC Series 오존수 공급장치는 반도체 및 디스플레이 세정공정용 장치로,
    가격 경쟁력과 우수한 성능을 확보를 목표로 개발된 오존수 공급장치입니다.

    견적문의
    모델별 성능표
    Model STANDARD FLOW MODEL HIGH FLOW MODEL
    OC-1C OC-3C OC-6C OC-9C OC-12C
    오존수 농도 (ppm) 5~40ppm 5~60ppm 5~60ppm 5~40ppm 5~40ppm
    오존수 유량 (L/min) 5~20L/min 10~40L/min 15~60L/min 40~100L/min 60~140L/min
    원료 가스 고순도 산소 (99.9% 이상) 고순도 산소 (99.9% 이상)
    접액부 재질 액체 : PFA, PTFE, ECTFE 액체 : PFA, PTFE, ECTFE
    가스 : SUS 316L, PFA, PTFE 가스 : SUS 316L, PFA, PTFE
    장비 외형 (mm) 830(W) x 780(D) x 1875(H) 1145(W) x 1050(D) x 1975(H)
    • STANDARD FLOW MODEL
    • HIGH FLOW MODEL
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