고순도 방전식 오존수 공급장치

    HYZON MAX

    HJS 의 HYZON MAX는 반도체 , FPD 세정 공정에
    사용되는 고순도 오존수를 제조, 공급하는 시스템입니다.
    산화막 생성, 유기물, METAL 및 PARTICLE 제거 등의 목적으로
    사용되며, 기존 약품 세정을 대체할 수 있는 친환경 시스템 입니다.
    HYZON MAX는 사용자의 다양한 요구를 충족할 수 있는
    넓은 범위의 오존수 농도와 유량의 제공이 가능합니다.
    HYZON MAX는 반도체 , FPD 세정 공정 용으로 다양한 고객사와
    세정 장비사의 다수의 납입 실적을 보유 하고 있습니다.

    특징

    • 반도체, FPD 세정 공정에 적합한 고순도 오존수 제조,공급
    • METAL IMPURITY, PARTICLE FREE
    • 탁월한 오존 농도 제어 능력 : ±5% of Full Scale
    • MAINTENANCE의 간소화 및 유지 보수 비용 절감 실현
    • 다양한 MODEL로 고객 요청에 가장 적합한 장치 제안 가능
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