UV방식 오존수 분해장치
ULV-Series
TOFCO 의 UV 방식 오존수 분해 장치는 고출력 자외선 램프를 사용하여
유체 중의 용존 오존을 즉시 분해합니다. Inline 구조와 Compact한 Size, 뛰어난 사용 편의성으로 반도체 및 FPD FAB 내에 설치, 사용하기 최적인
제품 입니다. ULV Series 는 반도체, FPD 세정 공정 용으로 다양한
고객사와 세정 장비사의 다수의 납입 실적을 보유 하고 있습니다.
특징
- 자외선 조사 분해 방식 채택
- 실시간으로 강제 분해하여 2차 발생물이 없음
- Inline 구조의 분해 방식으로 순시 분해가 가능하여 연속 사용 가능
- HF를 함유한 오존수 분해용으로 사용 가능
- 간편한 Maintenance 및 소모품 최소화 실현
- Compact한 Size로 반도체 및 FPD FAB 내 설치에 최적
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Application
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분해성능 Data
