ACE的EPS-5000 Series是实时自动调节清洗装置的排气压力、
维持稳定Process条件的排气压力调节装置(Exhaust Auto Damper),
具有快速响应速度和卓越的压力控制能力。
特征
设定压力Step变动到100~500pa时的控制特性
排气原压变动时的控制特性
排气流量变动时的控制特性