二氧化碳水供应装置

    SPARKLE

    HJS的SPARKLE应用于半导体、FPD清洗工艺并提供二氧化碳水的装置。 将二氧化碳气体(CO2)溶于超纯水中,制得二氧化碳水。
    SPARKLE在清洁过程中使用,
    用于ESD(Electrostatic Discharge)效应和防止金属腐蚀。
    SPARKLE用于半导体、FPD清洗工艺,
    在众多终端客户和设备供应商拥有应用案例。

    特征

    • 去除半导体清洁工艺中产生的静电
    • 使用MFC准确控制气体用量及维持稳定的电阻率
    • 独立气体溶解系统,半永久性使用
    • 不产生剩余CO2气体,减少CO2气体消耗量
    • 流量计内置可确认及输出二氧化碳水流量
    • 可通过多种型号的提供来满足客户的需求
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    不同型号的性能表
    Items SPARKLE
    Equipment Type Rack Type
    Model ECR-05X-12 ECR-40X-34 ECR-40X-01
    Flow rate 1.8 ~ 10 L/min 10 ~ 35 L/min
    DIW IN PORT PILLAR SUPER 300 TYPE 1/2" PILLAR SUPER 300 TYPE 3/4" PILLAR SUPER 300 TYPE 1"
    SUPPLY PORT PILLAR SUPER 300 TYPE 1/2" PILLAR SUPER 300 TYPE 3/4" PILLAR SUPER 300 TYPE 1"
    CO2 GAS IN swagelok 1/4"
    DRAIN VAT Drain: 3/8" Pillar Super 300
    电阻值范围 0.05 ~ 0.2 MΩ·cm 0.05 ~ 0.5 MΩ·cm
    电阻计安装位置 设备内部安装
    稳定性(恒定流量) Set Value ±10%
    Water Temperature(℃) 25 ± 5 ℃
    Water Pressure(MPa) 0.2 ~ 0.4
    CO2 Gas Supply Pressure (MPa) 0.3 ~ 0.5 (高于DIW压力)
    CO2 Gas Filter 3 nm(built in)
    CO2气体溶解方法 CO2气体直接注入+混合器溶解(半永久性)
    电阻率控制方法 MFC:根据供应流量的CO2气体设置控制(几乎无波动)
    Out put 1. Analog Output : 电阻率、CO2气体的瞬时流速 / 2. Alarm Output: 电阻率、High/Low Alarm (Contact), Leak Sensor Alarm (Contact)
    内部 Leak Sensor Installed (Alarm Output)
    Weight Approx. 13kg
    Size (W x D x H)mm 420W * 550D * 160H (mm)
    PID控制功能 ※1 Option :通过PID控制将电阻变动最小化
    PORT 方向 ※2 Option :可选择下端接口
    RACK 方向 ※3 Option :可选择纵向型

    ※ 1 包含 PID 控制功能的 Model - Cex) ECR-05X-12-C
    ※ 2 PORT 方向朝下的 Model - BPex) ECR-40X-01-BP
    ※ 3纵向型RACK Model - VP ex) ECR-40X-34-VP

    →1” Model 加Port朝下,加PID控制的选项时 ex)ECR-40X-01-BP-C

    不同型号的性能表

    Pressure loss for DI CO2

    Cabinet Type: ECC Series

    包括 Supply Pump、Particle Filter、Resistivity Auto Control Unit等,User可按照想要的规格制作。

    • Canbinet Dual Rack Type

      - Resistivity Auto Control Unit

    • Cabinet Single Rack Type

      - Resistivity Auto Control Unit ,
      Supply Pump, Particle Filter